වායු පිරිසිදු මට්ටම (N) | සලකුණු කළ අංශු ප්රමාණයට වඩා වැඩි හෝ සමාන අංශුවල උපරිම සාන්ද්රණ සීමාව (වායු අංශු ගණන/m3) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO පන්තිය 1 | 10 | 2 | ||||
ISO පන්තිය 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO පන්තිය 3 | 1,000 කි | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO පන්තිය 4 | 10,000 කි | 2,370 කි | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO පන්තිය 5 | 100,000 කි | 23,700 කි | 10,200 කි | 3,520 කි | 832 | 29 |
ISO පන්තිය 6 | 1,000,000 | 237,000 කි | 102,000 කි | 35,200 කි | 8,320 කි | 293 |
ISO පන්තිය 7 | 352,000 කි | 83,200 කි | 2,930 කි | |||
ISO පන්තිය 8 | 3,520,000 කි | 832,000 කි | 29,300 කි | |||
ISO පන්තිය 9 | 35,200,000 කි | 8,320,000 කි | 293,000 කි |
PCS/M≥0.5um | ISO 14644-1(1999) | US 209E(1992) | US 209D (1988) | EEC cGMP(1989) | ප්රංශය AFNOR(1981) | ජර්මනිය VDI 2083(1990) | ජපානය JAOA(1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1,000 කි | - | M3 | - | - | - | - | - |
3,530 කි | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4,000 කි | 3 | 5 |
10,000 කි | - | M4 | - | - | - | - | - |
35,300 කි | 6 | M4.5 | 1,000 කි | 1,000 කි | - | 4 | 6 |
100,000 කි | - | M5 | - | - | - | - | - |
353,000 කි | 7 | M5.5 | 10,000 කි | C | 400,000 කි | 5 | 7 |
1,000,000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3,530,000 කි | 8 | M6.5 | 100,000 කි | D | 4,000,000 | 6 | 8 |
10,000,000 | - | M7 | - | - | - | - | - |